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半导体 / 液晶显示器加工设备

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抛光板

刚性高和耐化学性强可长期使其表面不变形。
  • 高刚度
  • 耐磨性
  • 耐化学性
  • 晶圆抛光
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照片:   碳化硅(SiC)抛光板

碳化硅(SiC)抛光板

抛光板具有较高的导热性和较低的热膨胀性。
  • 导热性强
  • 热膨胀低
  • 高刚度

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照片:   反等离子体材料

反等离子体材料

优异的等离子体阻抗能延长零部件的使用寿命。
  • 等离子体阻抗
  • 介电损耗低
  • 制程腔体零部件
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抛光磨垫校正平台

优异的耐磨性,带有光学微刺
  • 使用寿命长(耐磨)Hv=5000
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照片:   液晶显示工艺设备用大型零部件

液晶显示工艺设备用大型零部件

生产大型结构零部件,具有优异的刚性和精度。
  • 高刚度
  • 反射小
  • 玻璃夹持
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钟形汽室、腔

高纯度和优异的等离子体阻抗可延长零部件的使用寿命。
  • 等离子体阻抗
  • 电气特性均匀
  • 腔零部件
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真空吸盘、集成净水反光镜、净水零部件

运输行业用零部件具有高纯度和优异的耐化学性。可制成各种表面形状,在各种操作条件下使用。
  • 精度高
  • 热膨胀低
  • 高比刚度
  • 晶圆夹持
  • 运输
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静电夹盘(ESC)

高纯度、优异的等离子体阻抗和防卡紧特性适合广泛的温度范围。
  • 等离子体阻抗
  • 晶圆夹持
  • 平面度校正
  • 冷却
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加热器

高纯度、优异的等离子体阻抗和热均匀性。
  • 等离子体阻抗
  • 导热性强
  • 热均匀性
  • 晶片加热器
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搬运臂

真空吸附夹具的类型;可使用各种涂层。
  • 耐温性佳
  • 晶圆运输
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