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公司介绍 氮化铝

氮化铝具有电绝缘性和优异的导热性,对于需散热的应用而言,它是理想之选。此外,由于其热膨胀系数接近硅,且具有优异的等离子体抗性,可被用于制造半导体加工设备部件。

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加热器

高纯度、优异的等离子体阻抗和热均匀性。
  • 等离子体阻抗
  • 导热性强
  • 热均匀性
  • 晶片加热器
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静电夹盘(ESC)

高纯度、优异的等离子体阻抗和防卡紧特性适合广泛的温度范围。
  • 等离子体阻抗
  • 晶圆夹持
  • 平面度校正
  • 冷却
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从材料选择阶段起,京瓷便为您提供服务支持。

请将您的要求告知我公司,例如:条件、形状和尺寸、精度和预算。我公司将从广泛的范围中为您推荐最佳材料和制造方法以满足您的需求。

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