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公司介绍 氧化钇

氧化钇具有卓越的等离子体抗性,对于务必避免颗粒污染的半导体加工设备应用而言是理想之选,因为它能降低设备维护要求,从而提高生产力。

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反等离子体材料

优异的等离子体阻抗能延长零部件的使用寿命。
  • 等离子体阻抗
  • 介电损耗低
  • 制程腔体零部件
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