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半导体 / 液晶显示器加工设备

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抛光板

刚性高和耐化学性强可长期使其表面不变形。
  • 高刚度
  • 耐磨性
  • 耐化学性
  • 晶圆抛光
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碳化硅（SiC）抛光板

抛光板具有较高的导热性和较低的热膨胀性。
  • 导热性强
  • 热膨胀低
  • 高刚度

其他物业
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抛光磨垫校正平台

良好的耐磨性，带有光学微刺
  • 使用寿命长（耐磨）Hv=5000
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搬运臂

真空吸附夹具的类型；可使用各种涂层。
  • 耐温性佳
  • 晶圆运输
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