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半导体 / 液晶显示器加工设备

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钟形汽室、腔

高纯度和良好的等离子体阻抗可延长零部件的使用寿命。
  • 等离子体阻抗
  • 电气特性均匀
  • 腔零部件
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静电夹盘（ESC）

高纯度、良好的等离子体阻抗和防卡紧特性适合广泛的温度范围。
  • 等离子体阻抗
  • 晶圆夹持
  • 平面度校正
  • 冷却
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加热器

高纯度、良好的等离子体阻抗和热均匀性。
  • 等离子体阻抗
  • 导热性强
  • 热均匀性
  • 晶片加热器
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