反等离子体材料

照片:  反等离子体材料

京瓷反等离子体材料有利于创造下一代的蚀刻技术。

新一代蚀刻技术需要更加强劲可靠的材料,以解决等离子体腐蚀、微粒产生、金属污染和氧气分解等问题。京瓷提供反等离子体材料,是新一代蚀刻技术的理想选择。

特点

  • 等离子体阻抗
  • 介电损耗低
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产品规格

材料 氧化钇、氧化铝
形状 复杂形状可供使用。
尺寸 针对φ200/300mm 设备
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半导体制程用陶瓷零部件(PDF/2MB)PDF