钟形汽室、腔

照片:  钟形汽室、腔

耐用度高的高纯度材料可提供可靠的等离子体阻抗。

我公司供应具有卓越等离子体阻抗的陶瓷真空室和钟形汽室,这类设备可加工300 mm的晶片。

特点

  • 等离子体阻抗
  • 电气特性均匀
我公司提供从产品雏形到大批量生产的定制产品服务支持。如果贵方所选规格与网站中显示的规格存在差异,敬请联系我公司以获得方案选择。
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产品规格

材料 氧化铝
形状 复杂形状可供使用。
尺寸 针对φ200/300mm 设备
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半导体制程用陶瓷零部件(PDF/2MB)PDF