精密陶瓷(先进陶瓷)
工艺腔室中使用的晶片加热器利用了氮化铝的高导热性和等离子体阻抗。它的纯度高达99.9%以上,热量分布均匀。
半导体制程用陶瓷零部件(PDF/2MB)
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产品列表半导体 / 液晶显示器加工设备