加热器

照片:  加热器

高性能加热器利用了陶瓷的高导热性和高等离子体阻抗。

工艺腔室中使用的晶片加热器利用了氮化铝的高导热性和等离子体阻抗。它的纯度高达99.9%以上,热量分布均匀。

特点

  • 等离子体阻抗
  • 导热性强
  • 热均匀性
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产品规格

材料 氮化铝
尺寸 针对φ200/300mm 设备
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半导体制程用陶瓷零部件(PDF/2MB)PDF