精密陶瓷(先进陶瓷)
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氮化铝具有电绝缘性和优异的导热性,对于需散热的应用而言,它是理想之选。此外,由于其热膨胀系数接近硅,且具有优异的等离子体抗性,可被用于制造半导体加工设备部件。
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