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真空吸盘、集成净水反光镜、净水零部件
运输行业用零部件具有高纯度和良好的耐化学性。可制成各种表面形状,在各种操作条件下使用。
精度高
热膨胀低
高比刚度
晶圆夹持
运输
搬运臂
真空吸附夹具的类型;可使用各种涂层。
耐温性佳
晶圆运输
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