碳化硅（SiC）抛光板

热分布范围较小，因而变形较小。耐化学性更强。表面轮廓可用。

因具有高导热性、低热膨胀系数、高刚度和良好的热均匀性，其抛光板变形较小。它还具有良好的耐化学性，有多种表面轮廓，包括凹面、平面和凸面。