真空吸盘、集成净水反光镜、净水零部件

照片:  真空吸盘、集成净水反光镜、净水零部件

具有各种表面轮廓/样式的高精度真空吸盘可适用于多样的操作条件。

我公司陶瓷真空夹具特点为表面轮廓和样式复杂、精度高,可用于各种工艺中,例如:晶圆夹持和输送。

特点

  • 精度高
  • 热膨胀低
  • 高比刚度
我公司提供从产品雏形到大批量生产的定制产品服务支持。如果贵方所选规格与网站中显示的规格存在差异,敬请联系我公司以获得方案选择。
咨询
  • 产品规格

产品规格

材料 氧化铝、碳化硅、堇青石和多孔性材料
形状 复杂的表面轮廓/样式均可供使用。
尺寸 针对φ200/300mm 设备
精密 镜面精度: λ/20 或以下
反射率:95%或以上
特殊工艺 物理气相沉积/化学气相沉积涂层、镜面涂层、焊接技术
Download catalog

半导体制程用陶瓷零部件(PDF/2MB)PDF