静电夹盘(ESC)

照片:  静电夹盘(ESC)

等离子体阻抗高的卡盘在各种操作温度下性能均良好。

嵌入了一个内置电极,利用该结构和ESC表面放置的硅晶片之间产生的静电力。在半导体制造工艺中,该类产品可用于硅晶片的安装、校正平面度和硅晶片的冷却。

特点

  • 等离子体阻抗
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产品规格

材料 氧化铝、氮化铝
尺寸 针对φ200/300mm 设备
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半导体制程用陶瓷零部件(PDF/2MB)PDF