精密陶瓷(先进陶瓷)
嵌入了一个内置电极,利用该结构和ESC表面放置的硅晶片之间产生的静电力。在半导体制造工艺中,该类产品可用于硅晶片的安装、校正平面度和硅晶片的冷却。
半导体制程用陶瓷零部件(PDF/2MB)
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产品列表半导体 / 液晶显示器加工设备