碳化硅(SiC)抛光板

照片:  碳化硅(SiC)抛光板

热分布范围较小,因而变形较小。耐化学性更强。表面轮廓可用。

因具有高导热性、低热膨胀系数、高刚度和优异的热均匀性,其抛光板变形最小。它还具有优异的耐化学性,有多种表面轮廓,包括凹面、平面和凸面。

特点

  • 导热性强
  • 热膨胀低
  • 高刚度
  • 热均匀性
  • 耐化学性
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产品规格

材料 碳化硅
形状 凹面、平面和凸面均可供使用供使用。
尺寸 MAXφ30"
精密 平面度:1mm或以下
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半导体制程用陶瓷零部件(PDF/2MB)PDF