薄膜MIC基板

高纯度(99.6%)氧化铝基板
- 京瓷的微波集成电路(MIC)基板的特点是在高纯度(99.6%)氧化铝或高介电常数陶瓷材料上进行薄膜线路加工。
备注:材料特性所列举的数值为典型值。
数值会随着材料/工艺的进一步改进或修正发生变化
■薄膜电阻
| 电阻材料 |
Ta2N |
| 方阻(Ω/SQ) |
10 to 100 |
| 阻值温度系数(ppm/K)-25℃到85℃ |
-100+/-20 |
| 无公差修整 |
+/-20% |
| 有公差修整 |
+/-3% |
长期可靠性 高温放置(125℃,1000小时)后的阻值变化 |
0.4% max. |