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半导体 / 液晶显示器加工设备

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反等离子体材料

优异的等离子体阻抗能延长零部件的使用寿命。
  • 等离子体阻抗
  • 介电损耗低
  • 制程腔体零部件
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钟形汽室、腔

高纯度和优异的等离子体阻抗可延长零部件的使用寿命。
  • 等离子体阻抗
  • 电气特性均匀
  • 腔零部件
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静电夹盘(ESC)

高纯度、优异的等离子体阻抗和防卡紧特性适合广泛的温度范围。
  • 等离子体阻抗
  • 晶圆夹持
  • 平面度校正
  • 冷却
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搬运臂

真空吸附夹具的类型;可使用各种涂层。
  • 耐温性佳
  • 晶圆运输
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